1. 特定製程案件：符合勞動部規定之特定製程（即3K製程）及其關聯行業的製造業者。
2. 國內新增投資案件：製造業者符合勞動部規定之特定製程及其關聯行業，並於102年3月13日至103年12月31日期間內新設立廠場，且取得工廠設立登記證明文件者。
3. 臺商回臺新增投資案件：製造業者赴海外地區投資2年以上，符合勞動部規定之特定製程及其關聯行業，並經經濟部工業局核發臺商資格認定文件後3年內完成新設立廠場，取得工廠立登記證明文件，且其投資金額與預估聘僱國內勞工人數達規定下列條件之

※條件一、高科技產業之製造業投資金額達新臺幣5億元以上，或其他產業之製造業投資金額達新臺幣1億元以上。
※條件二、新增投資計畫書預估工廠設立登記證明核發之日起，1年內聘僱國內勞工人數達100人以上。

1. 三照【工廠登記函/營利事業登記證/變更事項登記表/負責人ID】
2. 公司工廠三表報稅版【年度損益及稅額計算表/年度資產負債表/年度財產目錄】
3. 資源化產業類別須再檢附下列之一之資格證明文件：

• 事業廢棄物再利用許可
• 通過公告再利用檢核者
• 公民營廢棄物處（清）理機構
• 應回收廢棄物處理業
• 工業廢棄物共同清除處理機構